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Technologie des semi-conducteurs ZEISS : une utilisation directe

Une technologie novatrice avec une optique de précision.

Les performances toujours améliorées des mémoires informatiques ainsi que des processeurs ou des puces électroniques ont une influence croissante sur notre vie quotidienne. Elles permettent une grande précision même sur les surfaces les plus réduites. Les usines de puces électroniques de l'industrie des semi-conducteurs sont largement tributaires des lentilles ZEISS à haute performance destinés à l'optique de lithographie. Les lentilles optiques ZEISS sont l'essence même de la production de puces en série.

L'image ci-dessus montre une lentille lithographique. Un employé de Carl Zeiss tient devant lui un disque dans lequel son visage se reflète.

L'image ci-dessus montre une lentille lithographique. Un employé de Carl Zeiss tient devant lui un disque dans lequel son visage se reflète.

Si une personne disposant du savoir-faire actuel revenait à l'époque où Carl Zeiss et Ernst Abbe ont fondé l'entreprise, l'optique de précision aurait été une technologie clé.

 

Si une personne disposant du savoir-faire actuel revenait à l'époque où Carl Zeiss et Ernst Abbe ont fondé l'entreprise, l'optique de précision aurait été une technologie clé.

 

Pour répondre aux besoins toujours croissants en matière de stockage d'informations de plus en plus volumineuses, sur des supports de plus en plus petits, à des taux de transmission toujours plus élevés et sans limitation de destination, l'industrie de la micro-électronique doit utiliser des composants toujours plus denses avec des structures de plus en plus réduites.

 

Les dimensions des structures des puces sont de l'ordre de 100 nm (= un dixième de micromètre). Cette évolution ne semble pas près de s'arrêter. Le développement de la qualité et du contrôle des processus va de pair avec celui de la production en série des puces électroniques, un domaine qui n'a pu voir le jour qu'avec l'aide des systèmes optiques ZEISS.

Le contrôle est essentiel…

Si des erreurs de réticule se glissent pendant l'exposition et sont transférées vers les puces en cours de production en série, des dysfonctionnements se produiront automatiquement à grande échelle. On imagine facilement les conséquences d'une telle erreur en termes de coûts et de perte de productivité, si elle n'était pas détectée avant que plusieurs milliers de puces inutilisables aient été produites.

 

C'est la raison pour laquelle il est essentiel d'être en mesure de détecter et d'éliminer très tôt les erreurs. Plus les puces sont petites et puissantes, plus il est important de pouvoir contrôler les réticules de manière suffisamment précise pour reconnaître les aberrations avant une utilisation pour la production en série. Ces contrôles sont effectués à l'aide de lentilles optiques ultra-performantes.

 

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